[19a-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

△ [19a-D8-6] GaN HFETサイドゲート効果光応答のシミュレーション

^○井川裕介¹，李根三²，敖金平¹，大野泰夫³ (徳島大¹，日本シノプシス²，eデバイス³)

キーワード：サイドゲート効果,AlGaN/GaN HFET,デバイスシミュレーション