2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-D9-1~13] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

2014年3月19日(水) 09:00 〜 12:30 D9 (D315)

09:30 〜 09:45

[19a-D9-3] 微細孔液浸入評価手法の開発

菓子未映子1,神林琢也1,大川真樹2,浜野恵1,陳岡敏典1,高橋広毅1,太田勝啓1,佐伯智則1 (日立製作所 横浜研究所1,国際電気セミコンダクターサービス2)

キーワード:微細孔,液浸入,蛍光