[19a-D9-1~13] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-D9-7] Si基板のBMDによるゲッタリングの深さ方向分布解析

^○大野力一，嵯峨幸一郎 (ソニー)

キーワード：BMD,重金属汚染