[19a-D9-1~13] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-D9-9] MEMS片持ち梁の表面エネルギー評価方法について

^○加藤一郎 (宇宙航空研究開発機構)

キーワード：cantilever,Stiction,surface energy