2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月19日(水) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

09:15 〜 09:30

▲ [19a-E14-2] Crystallization of Amorphous Silicon Thin Films by Microwave Heating

○（B）中村友彦，吉冨真也，蓮見真彦，鮫島俊之 (東京農工大)

キーワード：結晶化,crystallization,amorphous