2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月19日(水) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)

09:45 〜 10:00

△ [19a-E14-4] ブルーレーザーアニール法による高移動度poly-Si TFTの作製

杉原弘也1，下田清治1，岡田竜弥1，○野口隆1，宮下準弘2，楠田豊2，本山真一2 (琉球大 工1，サムコ2)

キーワード：TFT,Poly Si,BLDA