[19a-F6-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[19a-F6-5] プラズマ光と表面の相互作用の解明

^○張彦¹，石川健治¹，関根誠¹，深沢正永²，長畑和典²，冨谷茂隆²，辰巳哲也²，竹田圭吾²，近藤博基¹，堀勝¹ (名大¹，ソニー²)

キーワード：エッチング,フォトンフラックス