[19a-F7-1~10] 6.5 表面物理・真空

[19a-F7-4] Si(100)-2×1表面の室温ドライ酸化における分子状吸着酸素の観察

^○吉越章隆¹，岡田隆太²，寺岡有殿^1,3，岩井優太郎³，山田洋一²，佐々木正洋² (原子力機構¹，筑波大院数物²，兵県大院物質理学³)

キーワード：Si(100)ドライ酸化,分子状吸着,その場観察