[19a-F8-1~12] 5.3 光制御

[19a-F8-2] 超低損失水素化アモルファスシリコン導波路

^○武井亮平^1,2，眞子祥子^1,2，面田恵美子^1,2，鈴木政雄^1,2，森雅彦^1,2，榊原陽一^1,2，亀井利浩^1,2 (産総研¹，PECST²)

キーワード：アモルファスシリコン,シリコンフォトニクス,光導波路