[19a-F8-1~12] 5.3 光制御

[19a-F8-3] 立体化シリコン細線導波路と光ファイバの光波結合

^○吉田知也¹，武井亮平¹，西孝¹，田島渉吾²，面田恵美子¹，長尾昌善¹，三浦登²，森雅彦²，榊原陽一^1,2 (産総研¹，明大院理工²)

キーワード：シリコン細線導波路,ウエハ検査,光配線