[19a-PA4-1~12] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-PA4-1] PFCガスの極低温凝縮層への低速電子線照射により合成したa-C:F薄膜の物性評価

^○和光賢司，曽我遥華，森川恭兵，佐藤哲也，中川清和 (山梨大院医工総研)

キーワード：C4F8,アモルファスカーボン,低温