09:30 〜 11:30
[19a-PA4-12] 対向ターゲットスパッタリング法によるITO膜の作製と評価
キーワード：スパッタリング,対向ターゲットスパッタリング,ITO
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
[19a-PA4-1~12] 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月19日(水) 09:30 〜 11:30 PA4 (アリーナ)
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2014年3月19日(水) 09:30 〜 11:30 PA4 (アリーナ)
09:30 〜 11:30
キーワード：スパッタリング,対向ターゲットスパッタリング,ITO