[19a-PA4-1~12] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-PA4-4] マイクロ波水素プラズマによるa-TiO2の多結晶化と伝導特性の改善

^○（M2）湯艶，佐藤哲也，荒井哲司，中川清和 (山梨大院医工総研)

キーワード：酸化チタン,マイクロ波,結晶化