[19a-PA4-1~12] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-PA4-5] 粉体ターゲットスパッタプロセスの高速度成膜機構解明

^○川崎仁晴，大島多美子，柳生義人，猪原武士，田中雪，須田義昭 (佐世保高専)

キーワード：powder target