[19a-PA4-1~12] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-PA4-9] デュアルマイクロ波プラズマ源CVDを用いた窒化炭素膜の合成

^○木口崇彦¹，猪飼治²，齋藤永宏^1,2,3 (名大グリモ¹，名大院工²，名大エコトピア³)

キーワード：窒化炭素