2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.5 プラズマナノテクノロジー

[19a-PA5-1~6] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2014年3月19日(水) 09:30 〜 11:30 PA5 (アリーナ)

09:30 〜 11:30

[19a-PA5-1] 離散的ナノ柱状構造化InN薄膜のEC特性

枡川尊重1,井上泰志1,高井治2 (千葉工大1,関東学院大2)

キーワード:蒸着,InN