[19a-PA5-1~6] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[19a-PA5-2] CCP-CVDによるSiO:CH微粒子の形成とその堆積膜構造

^○（B）葛岡茂樹¹，井上泰志¹，高井治² (千葉工大¹，関東学院大表面・材料研²)

キーワード：ナノ粒子,膜構造,プラズマ