[19a-PA5-1~6] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [19a-PA5-4] グラファイト外包磁気ナノ微粒子噴上げ効果を利用したAr/NH₃ RFプラズマによる表面修飾の高効率化とプラズマ表面相互作用の分光計測

^○張ハン¹，楊恩波²，古閑一憲³，白谷正治³，永津雅章^1,2 (静大院工¹，創造科技院²，九大院システム情報³)

キーワード：表面修飾,分光計測