[19a-PA5-1~6] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[19a-PA5-5] 樟脳を用いたマイクロ波表面波プラズマCVDによるグラフェン成膜

^○内田三郎，スディープアディカリ，内田秀雄，脇田紘一，梅野正義 (中部大)

キーワード：グラフェン,プラズマCVD