[19a-PA6-1~13] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19a-PA6-13] HWA処理によるポーラスシリコン上のナノロッド形成の試み

^○（M1C）由井寛之¹，ベルナールジェローズ²，金蓮花¹ (山梨大 院医工¹，名大工²)

キーワード：nanowire,porous silicon