[19a-PA6-1~13] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19a-PA6-7] 静電吸着法を利用した微粒子集積化

釜木剛¹，^○前田篤志¹，武藤浩行²，松田厚範² (府大高専¹，豊橋技科大²)

キーワード：微粒子,静電吸着