[19a-PG1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PG1-1] DLC膜の電子顕微鏡ツールへの利用 -大気中におけるサンプル観察の画像評価-

^○上月具挙¹，縄稚典生² (広島国際大工¹，広島県立総合技術研究所²)

キーワード：DLC,電子顕微鏡,電子透過膜