[19a-PG1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PG1-5] マイクロ波プラズマCVDによる窒化炭素合成における水素フローの影響

^○髙橋侑佑¹，羽渕仁恵¹，滝川浩史² (岐阜高専¹，豊橋技科大²)

キーワード：窒化炭素