[19a-PG1-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[19a-PG1-7] RFスパッタリング法により作製したBCN薄膜における発光特性

^○大川貴史¹，佐竹聖樹¹，伊藤國雄¹，寺元統人²，中村重之²，亀友健太³，財部健一³，福井一俊⁴，山本伸一¹ (龍谷大理工¹，津山高専²，岡山理大³，福井大⁴)

キーワード：窒化ホウ素炭素