2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

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[19a-PG2-1~42] 11.0 超伝導(ポスター)

2014年3月19日(水) 09:30 〜 11:30 PG2 (G棟2階)

09:30 〜 11:30

[19a-PG2-27] Epitaxial Growth of TiN films on Single-crystal Si(100) Substrates with High Vacuum Magnetron Sputtering Method

RuiSun1,牧瀬圭正1,丘偉1,寺井宏高1,王鎮2 (情報通信研究機構未来ICT研究所1,上海微系统所2)

キーワード:TiN,sputtering,epitaxial