2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[19a-PG3-1~13] 14.1 探索的材料物性

2014年3月19日(水) 09:30 〜 11:30 PG3 (G棟2階)

09:30 〜 11:30

[19a-PG3-8] CaSi2/Si基板を用いて作製したSi基ナノシート束

孟二超1,今川晴雄2,孟祥1,中根海斗1,白橋侑弥1,佐藤雄亮1,鈴木博明1,板原浩2立岡浩一1 (静岡大1,豊田中研2)

キーワード:Silicon,Nanosheet,Calcium silicide