[19a-PG4-1~2] 15.1 バルク結晶成長

[19a-PG4-2] TLZ法による均一組成SiGe結晶育成と組成安定性

^○荒井康智，木下恭一 (宇宙航空研究開発機構)

キーワード：SiGe