[19a-PG5-1~8] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

△ [19a-PG5-4] パワーデバイス用結晶の評価（Ⅱ）Siエピタキシャルウエハ中のミスフィット転位の透過電子顕微鏡による評価

^○川本光太¹，永井哲也²，野網健吾²，中居克彦²，二木登史郎²，山本秀和¹ (千葉工大工¹，日鉄住金テクノロジー²)

キーワード：Siエピタキシャルウエハ,ミスフィット転位,透過電子顕微鏡