2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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[19a-PG5-1~8] 15.8 結晶評価,不純物,結晶欠陥

2014年3月19日(水) 09:30 〜 11:30 PG5 (G棟2階)

09:30 〜 11:30

[19a-PG5-4] パワーデバイス用結晶の評価(Ⅱ)Siエピタキシャルウエハ中のミスフィット転位の透過電子顕微鏡による評価

川本光太1,永井哲也2,野網健吾2,中居克彦2,二木登史郎2,山本秀和1 (千葉工大工1,日鉄住金テクノロジー2)

キーワード:Siエピタキシャルウエハ,ミスフィット転位,透過電子顕微鏡