[19a-PG5-1~8] 15.8 結晶評価，不純物，結晶欠陥

△ [19a-PG5-6] パワーデバイス用結晶の評価 (Ⅳ) SiC基板中の積層欠陥の透過電子顕微鏡による評価

^○白取美帆¹，永井哲也²，野網健吾²，中居克彦²，二木登史郎²，山本秀和¹ (千葉工大工¹，日鉄住金テクノロジー²)

キーワード：SiC,積層欠陥,透過電子顕微鏡