13:00 〜 13:15
△ [19p-D1-1] 冷凍シクロヘキサンターゲットを用いたフェムト秒PLD法により作製したDLC薄膜の評価
キーワード：フェムト秒PLD法,DLC薄膜,冷凍ターゲット
講演情報
一般セッション(口頭講演)
04．量子エレクトロニクス » 4.7 レーザー・プロセッシング
[19p-D1-1~20] 4.7 レーザー・プロセッシング
2014年3月19日(水) 13:00 〜 18:30 D1 (D107)
一般セッション(口頭講演)
04．量子エレクトロニクス » 4.7 レーザー・プロセッシング
2014年3月19日(水) 13:00 〜 18:30 D1 (D107)
13:00 〜 13:15
キーワード：フェムト秒PLD法,DLC薄膜,冷凍ターゲット