[19p-D1-1~20] 4.7 レーザー・プロセッシング

△ [19p-D1-11] 薬液中レーザー照射による4H-SiCのn形化と不純物の拡散特性

^○（B）井上祐樹，池上浩，池田晃裕，中村大輔，岡田龍雄，浅野種正 (九大)

キーワード：レーザー,ドーピング,SiC