[19p-D1-1~20] 4.7 レーザー・プロセッシング

[19p-D1-19] 光・粒子計測を用いたレーザー駆動EUV光源アブレーションプルームの診断

^○増田将也¹，田中のぞみ¹，永富健介²，吉田実²，砂原淳³ (阪大レーザー研¹，近大理工²，レーザー総研³)

キーワード：EUV,アブレーション,プラズマ加熱