[19p-D10-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-D10-1] 可変容量BST薄膜の電極探索①～上部電極/BST界面が特性に与える影響の調査～

^○岸本諭卓¹，大門道子¹，木村哲也¹，加藤英幸¹，門田道雄^1,2 (村田製作所¹，東北大²)

キーワード：BST