[19p-D2-1~11] 16.1 基礎物性・評価

△ [19p-D2-4] ラマン分光法による多結晶シリコン薄膜の結晶性分布評価

^○安川裕政¹，富田基裕¹，小瀬村大亮¹，山崎英之²，富田充裕²，臼田宏治²，小椋厚志¹ (明大理工¹，東芝²)

キーワード：ラマン分光法,多結晶Si