2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性

[19p-D3-1~14] 14.1 探索的材料物性

2014年3月19日(水) 14:00 〜 17:45 D3 (D114)

14:45 〜 15:00

[19p-D3-4] RF スパッタ作製Zn3N2 膜の光学定数

○（M2）設楽知彰，櫻井航平，宮崎卓幸，安達定雄 (群馬大院理工)

キーワード：Zn3N2