15:15 〜 15:30
[19p-D3-6] Ar雰囲気中アニールによるMg2Si膜固相合成におけるマグネシウム蒸発の観察
キーワード：マグネシウムシリサイド
講演情報
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性
[19p-D3-1~14] 14.1 探索的材料物性
2014年3月19日(水) 14:00 〜 17:45 D3 (D114)
一般セッション(口頭講演)
14．半導体B（探索的材料・物性・デバイス） » 14.1 探索的材料物性
2014年3月19日(水) 14:00 〜 17:45 D3 (D114)
15:15 〜 15:30
キーワード：マグネシウムシリサイド