2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

11．超伝導 » 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[19p-D4-1~13] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

2014年3月19日(水) 14:00 〜 17:30 D4 (D115)

17:15 〜 17:30

[19p-D4-13] B10H14を用いてHPCVD成長したMgB2薄膜の成長レート依存性

佐川真太郎1，山本明保2，○内藤方夫1 (農工大工1，東大工2)

キーワード：MgB2,HPCVD,デカボラン