[19p-D6-1~18] 6.4 薄膜新材料

△ [19p-D6-10] パルスレーザ堆積法を用いたTiH₂薄膜の作製

^○鈴木崇之¹，吉松公平¹，土嶺信男²，大島孝仁¹，大友明^1,3,4 (東工大院理工¹，豊島製作所²，元素戦略³，JST-ALCA⁴)

キーワード：パルスレーザ堆積法,水素化物,チタン