[19p-D6-1~18] 6.4 薄膜新材料

△ [19p-D6-7] パルスレーザー堆積法による超高密度ターゲットを用いたABO₃(A=Ca,Sr,La B=Mn,Fe)単相薄膜の作製と結晶構造解析

^○大島佳祐¹，渡部雄太¹，及川貴大¹，稲葉隆哲¹，岩田展幸¹，山本寛¹，橋本拓也² (日大理工¹，日大文理²)

キーワード：パルスレーザ堆積法,超高密度ターゲット,ペチーニ法