[19p-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-D8-1] GaN中のプラズマ照射誘起欠陥の光励起を用いた電気特性評価

^○（D）瀧本拓真，中村成志，奥村次徳 (首都大理工)

キーワード：GaN,欠陥,プラズマ