[19p-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-D8-4] コンダクタンス法によるAlGaN/GaNヘテロ接合界面トラップに関する研究

^○劉璞誠¹，竇春萌¹，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：AlGaN/GaNヘテロ接合,界面トラップ