[19p-D8-1~13] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-D8-5] AlGaN/GaN上のTi/C/TiN電極のコンタクト抵抗：Ti/C膜厚及び比率依存性

^○松川佳弘¹，岡本真里¹，角嶋邦之²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，名取研二¹，齋藤渉³，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²，東芝セミコンダクター社³)

キーワード：AlGaN,コンタクト抵抗,GaN