[19p-E10-1~11] ワイドバンドギャップ酸化物半導体による新しい機能の創成

[19p-E10-10] 2インチ(-201)β-Ga₂O₃基板の作製と評価

^○増井建和¹，輿公祥¹，飯塚和幸²，渡辺信也²，滝沢勝²，山岡優¹，土井岡慶²，梅村沙織²，脇本大樹²，倉又朗人²，山腰茂伸² (光波¹，タムラ製作所²)

キーワード：酸化ガリウム