[19p-E10-1~11] ワイドバンドギャップ酸化物半導体による新しい機能の創成

[19p-E10-8] 大気開放系ミスト化学気相成長(CVD)法を用いて作製したワイドバンドギャップ酸化物薄膜トランジスタ(TFT)

^○川原村敏幸¹，介田忠宏²，王大鵬²，古田守^2,1 (高知工大 ナノ研¹，高知工大 環境理工²)

キーワード：ミスト化学気相成長法,酸化物薄膜トランジスタ,ワイドバンドギャップ