[19p-E11-1~19] 14.4 光物性・発光デバイス

△ [19p-E11-10] RFマグネトロンスパッタ法によるZnO蛍光薄膜の高温成膜と電子線励起アシスト顕微鏡による試料観察

^○金森聡^1,2，三宅亜紀²，居波渉^1,2,3，小南裕子¹，川田善正^1,2,3，中西洋一郎² (静岡大院工¹，静岡大電子研²，JST-CREST³)

キーワード：酸化亜鉛