[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-14] マイクロプラズマを用いたエッチングプロセス（Ⅱ）

^○田中宏幸¹，中野禅^1,2，清水禎樹^1,2，小木曽久人^1,2，二川真士³，吉岡秀明³，福田孝弘³，内山嘉典³，ソマワンクンプアン^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²，デザインネットワーク³)

キーワード：プラズマ,エッチング,ミニマル