[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-4] 局所クリーン化ミニマルPLADエア循環システム（II）

^○谷島孝¹，安井政治¹，ソマワンクンプアン^1,2，前川仁^1,2，原史朗^1,2 (ミニマルファブ技術研究組合¹，産総研²)

キーワード：minimal　fab