[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-5] ミニマルファブにおける真空対応ウェハ搬送システムの開発

^○前川仁^1,3，今井慎一^2,3，ソマワンクンプアン^1,3，原史朗^1,3 (産総研¹，タツモ²，ミニマルファブ技組³)

キーワード：ミニマルファブ