[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-6] ミニマル装置におけるウェハ洗浄プロセス

^○奥田修史¹，松田苑子²，後藤昭広²，ソマワンクンプアン^1,3，原史朗^1,3 (ミニマルファブ¹，プレテック²，産総研³)

キーワード：minimal,洗浄